通用型場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

簡(jiǎn)要描述：國(guó)儀量子通用型場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM4000X是一款穩(wěn)定通用，靈活高效的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。分辨率可達(dá)1.9nm @1.0kV，輕松應(yīng)對(duì)各種類型樣品的高分辨拍樣挑戰(zhàn)，可升級(jí)超級(jí)減速模式，進(jìn)一步提升低壓分辨率。

產(chǎn)品型號(hào)：SEM4000X
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-06-06
訪問(wèn) 量：1128

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掃描電子顯微鏡

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SEM4000X是一款穩(wěn)定通用，靈活高效的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。分辨率可達(dá)1.9nm @1.0kV，輕松應(yīng)對(duì)各種類型樣品的高分辨拍樣挑戰(zhàn)，可升級(jí)超級(jí)減速模式，進(jìn)一步提升低壓分辨率。同時(shí)采用了多探測(cè)器技術(shù)，鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器（UD）可探測(cè)SE和BSE信號(hào)，同時(shí)具有高分辨率性能。倉(cāng)內(nèi)電子探測(cè)器（LD）采用了晶體閃爍體和光電倍增管，具備更高的靈敏度和高效性，圖像具有很好的立體感。中文操作軟件，簡(jiǎn)單易用，豐富的自動(dòng)化功能，如自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散、自動(dòng)對(duì)中等等，可快速獲取高分辨圖像。

通用型場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品參數(shù)

關(guān)鍵參數(shù)	分辨率	0.9 nm@30 kV, SE
		1.2 nm@15 kV, SE
		1.9 nm@1 kV, SE
		1.5 nm@1 kV(超級(jí)減速）
		1.0 nm@15 kV(超級(jí)減速）
	加速電壓	200 V~30 kV
	放大倍率	1~1,000,000×
	電子槍類型	肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
樣品室	低真空模式	/
	攝像頭	雙攝像頭（光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控）
	XY行程	110 mm
	Z行程	50 mm
	T行程	-10°~+70°
	R行程	360°
探測(cè)器	鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器	UD-BSE/UD-SE
	倉(cāng)室內(nèi)電子探測(cè)器	LD
	插入式背散射電子探測(cè)器（BSED）	○
	插入式掃描透射電子探測(cè)器（STEM）	○
	低真空二次電子探測(cè)器（LVD）	○
	能譜儀（EDS）	○
	背散射衍射（EBSD）	○
擴(kuò)展	樣品交換倉(cāng)（4寸/8寸）	○
	旋鈕板&軌跡球	○
	雙減速技術(shù)（Duo-Dec）	/
	超級(jí)減速技術(shù)	○
軟件	操作軟件	Windows操作系統(tǒng)，中文SEM軟件
	導(dǎo)航	光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航、軌跡球（選配）
	自動(dòng)功能	自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)